サンプルサイズについて

測定サンプルの平面方向のサイズについて

下記がCCDカメラレンズとステージ、バックライト(LED)光源の位置関係画像です。

B100ワークサイズ

B100の場合、赤い矢印の最大幅が約150mmです(ME2の場合は、最大100mm)。

着液場所は、針先の位置のみで測定箇所の制限はありますが、ワークの短い方の幅が最大150mmまでステージにセット可能です。

6インチウエハーを載せた画像
6インチウエハーを載せた場合
ステージ画像(100mm角)
ステージ画像(100mm角)

測定サンプルの厚みについて

B100の場合、標準ステージ上の最大厚みは15mmですが、ステージを取り外すことにより最大30mmのワークまでセット可能です。(六角レンチで簡単に取り外すことが可能です。)

最大厚みのワークについて

※ レンタル/受託サービスにつきましては、特殊ステージへの交換が可能ですので、最大ワークサイズ45mmまでの厚さのワークの測定が可能です。