従来の反射分光式膜厚測定にオプションとして顕微式分光膜厚計(顕微鏡式分光膜厚計)のレンタルを開始いたします。顕微鏡を用いる事で、従来では測定出来なかった凹凸のある電子部品や曲面レンズに対して測定することが可能になりました。
装置スペック
名称 | 顕微鏡式分光膜厚計 |
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装置構成 | 顕微鏡、ユニット本体、ファイバー(1m)、PC |
顕微鏡 | オリンパス社製金属顕微鏡 |
測定波長範囲 | 380~700nm |
膜厚測定範囲 | 50nm~1.5μm(C/F) |
1.5μm~50μm(FFT) | |
計測再現性 | 0.2%~1%(膜質依存による) |
測定スポット径 | Φ6μm~Φ120μm |
光源 | 12V-100W ハロゲン |
測定理論 | カーブフィッティング法 / FFT法 |
外形寸法 (mm) | 顕微鏡:W317.5×D602×H480 |
本体:W230×D230×H135 | |
概算重量 | 25kg ※PCを除く |
ユーティリティ | AC100V 50/60Hz |
消耗品 | ハロゲンランプ |